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NTK展示陶瓷中介層、大尺寸AlN基板等新品,瞄準先進封裝市場

近日,在東京國際展示場舉辦的SEMISOL 2026(半導體後工程技術與解決方案展)上,日本特殊陶業(Niterra集團)及旗下NTK Ceramic展示了多項面向先進封裝領域的陶瓷基板技術,包括陶瓷中介層、300mm氮化鋁(AlN )以及基板以及透光陶瓷基板等產品。
隨著人工智慧(AI)、高效能運算(HPC)以及自動駕駛等應用的發展,半導體封裝正向大尺寸、高密度方向演進。同時,傳統封裝基板在翹曲控制、熱膨脹失配以及散熱性能等方面面臨新的挑戰,業界正在探索矽和玻璃之外的新型基板材料。
日本特殊陶業相關負責人表示,陶瓷中介層有望成為繼矽中介層和玻璃中介層之後的「第三種中介層方案」。目前,玻璃基板雖然受到廣泛關注,但在加工和可靠性方面仍存在一定挑戰,因此部分終端使用者對於陶瓷基板表現出強烈興趣。
本次展出的陶瓷中介層尺寸為75mm×75mm,通孔間距(Via Pitch)為0.15mm,通孔尺寸為100μm,並採用銅填孔結構,主要針對Chiplet先進封裝應用。
陶瓷中介層
此外,該公司也展示了直徑300mm的大尺寸氮化鋁基板。氮化鋁兼具高導熱率和良好絕緣性能,被認為是高功率元件和先進封裝的重要候選材料。據介紹,此基板厚度可根據需求進行調整,並透過與合作夥伴協同開發,實現較高的平坦度控制水準。
直徑300mm的大尺寸氮化鋁基板
另一項展品為透光氧化鋁陶瓷基板。本產品透過特殊製程使氧化鋁陶瓷具備透光特性,展示樣品尺寸達到300mm×300mm,未來可應用於半導體封裝載板等領域。
透光氧化鋁陶瓷基板
目前,上述產品均處於開發階段,尚未進入量產。日本特殊陶業表示,未來將根據先進封裝市場的發展需求持續推動相關技術研發。