CVD SiC Focus Ring-軒運科技有限公司-半導體設備廠商

半導體設備

無光罩曝光機

引進第一台桌上型 3μm無光罩曝光設備；
CAD/JPG/PNG/BITMAP等均可直接輸為光罩圖形

• 磁性薄膜等的任意形狀的圖案的形成
• 感測器，半導體器件的製作
• MEMS器件的製作、
• 光電子，LED的試製、
• 先進封裝的試製、
• 微流體器件的試製、
• 光罩版製作、
• 細胞分離通道等的製作、
• 光波導路的製作、
• 其他應用