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microLED量測系統

光電設備

microLED量測系統

引進microLED PL/EL同一機台且30分鐘快速量測

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測量
• MicroLED像素的光學特性、光譜特性和結構特性以及缺陷Map圖
• 適用於檢測缺陷區域的大片晶圓檢測
• 納米級像素光致發光(PL)和電致發光(EL)表征
• 每個像素的光學特性、光譜特性和結構特性及缺陷